Trichloridum boricum (BCl3)Compositum inorganicum est, quod vulgo in processibus corrosionis siccae et depositionis vaporis chemici (CVD) in fabricatione semiconductorum adhibetur. Est gas incolor cum odore acri forti temperatura ambiente et sensibile est ad aerem humidum quia hydrolytice perficitur ad producendum acidum hydrochloricum et acidum boricum.

Applicationes Trichloridi Bori

In industria semiconductorum,Trichloridum boricumPraecipue ad siccam corrosionem aluminii et ut dopans ad regiones P-typi in crustulis silicii formandas adhibetur. Etiam ad corrosionem materiarum ut GaAs, Si, AlN adhiberi potest, et ut fons bori in quibusdam applicationibus specificis. Praeterea, trichloridum bori late in processu metallorum, industria vitri, analysi chemica et investigatione laboratorio adhibetur.

Salus Trichloridi Bori

Trichloridum boricumCorrosivum et toxicum est, et oculis et cuti grave damnum inferre potest. In aere humido hydrolyzatur ut gas hydrogenii chloridi toxicum emittat. Quapropter, congruae cautiones salutis in tractatione adhibendae sunt.Trichloridum boricum, inter quas vestimenta protectora, ocularia et apparatum tutelae respiratoriae gerendo, et in ambiente bene ventilato operando.