Gasa electronica specialia fluorinum continentia communia includuntsulphuris hexafluoridum (SF6), tungsten hexafluoride (WF6);tetrafluoridum carbonii (CF4), trifluoromethanum (CHF3), nitrogenii trifluoridum (NF3), hexafluoroethanum (C2F6) et octafluoropropanum (C3F8).
Cum progressu nanotechnologiae et incrementum magnae scalae industriae electronicae, eius postulatio in dies augebitur. Trifluoridum nitrogenii, ut gas electronicum speciale necessarium et maxime adhibitum in productione et tractatione tabularum et semiconductorum, latum spatium mercatus obtinet.
Ut genus gasis specialis fluorinum continentis,trifluoridum nitrogenii (NF3)Nitrogenium trifluoridum (vel "trifluoridum") praecipue ad usum electronicum est, quod maximam capacitatem mercatus praebet. Iners est chemice temperatura ambiente, activius oxygenio temperatura alta, stabilius fluoro, et facile tractatur. Trifluoridum nitrogenii praecipue adhibetur ut gas ad plasma corrosum et ad cameram reactionis purgandam, et aptum est ad fabricationem fragmentorum semiconductorum, monitorum planorum, fibrarum opticarum, cellularum photovoltaicarum, et cetera.
Comparatum cum aliis gasibus electronicis fluorinum continentibus,trifluoridum nitrogeniiCommoda celeritatis reactionis et efficaciae altae praebet. Praesertim in corrosionis materiarum silicium continentium, ut silicii nitridi, celeritatem corrosionis et selectivitatem magnam habet, nullum residuum in superficie obiecti corrosi relinquens. Praeterea, purgatio optima est et superficiem non polluit, quod necessitatibus processus processus satisfacere potest.
Tempus publicationis: XIV Septembris, MMXXIV
