Sulphur hexafluoride est gas cum excellentibus proprietatibus insulantibus et saepe in arcu exstinguentibus et transformatoribus altae intentionis, linearum transmissionum transmissionum, transformantium, etc. Tamen, praeter has functiones, sulphur hexafluoride etiam adhiberi potest ut electronic etchant. . Electronic gradus summus sulphuris puritatis hexafluoride est specimen electronicarum etchanarum, quae late in campo technologiae microelectronicarum adhibetur. Hodie, Niu Ruide editor gas speciale Yueyue applicationem sulphuris hexafluoride in siliconis nitride etching et influentia parametris diversorum introducet.
Discutimus SF6 plasma etching processus Sinx, incluso mutans vim plasmatis, rationem gasi SF6/Ille et addendo gasi cationico O2, de eius influxu in etching rate Sinx elementi iacuit TFT tutelae, et radiorum plasma utens. spectrometer in SF6/He, SF6/He/O2 plasma et SF6 dissociationis rate concentratio analysit, et explorat relationem inter mutationem Sinx etching rate et plasma specierum concentratio.
Studia inventa sunt, cum potentia plasmatis augetur, et engraving rate augetur; si rate fluxus SF6 in plasmate augetur, atomi concentratio F crescit et positive connectitur cum rate etching. Praeterea, additis gasis cationicis O2 sub rate fixa totale fluens, effectum rate etching augendi habebit, sed sub diversis rationibus fluunt O2/SF6, diversae machinationes reactiones erunt, quae in tres partes dividi possunt. : (1) Ratio fluxus O2/SF6 valde exiguus est, O2 dissociationem SF6 adiuvare potest, et tessificationis in hoc tempore maior est quam cum O2 non additur. (2) Cum O2/SF6 fluunt ratio maior quam 0,2 ad spatium appropinquantem 1, hoc tempore, propter magnam dissociationem SF6 ad formandum atomos F, est summa et tessiva; sed eodem tempore, atomi O in plasmate etiam augentur et facile SiOx seu SiNxO(yx) cum Superficie cinematographico formare, et quo magis O atomi crescunt, eo difficilius erunt atomi F in engraving. Et ideo cymbalum enascens ratem incipit tardare cum ratio O2/SF6 prope 1. (3) Cum ratio O2/SF6 maior est quam I, et tessorium decrescit. Ob magnum incrementum in O2, dissociati F atomi cum O2 et forma OF collidunt, quae retrahitur atomorum F, quae in diminutione in rate etchthymiamate resultat. Ex his videri potest, addita ratione O2/SF6 fluxum inter 0.2 et 0.8 esse, et optimam notificationem ratem obtineri posse.
Post tempus: Dec-06-2021
