Electronicusgases specialesPars magni momenti gasorum specialium sunt. Paene omnem nexum productionis semiconductorum penetrant et materiae primae necessariae sunt ad productionem industriarum electronicarum, ut circuituum integratorum magnitudinis ultra-magnae, instrumentorum ostensionis planorum, et cellularum solarium.

In technologia semiconductorum, gasa fluorinum continentia late adhibentur. Hodie, in foro globali gasorum electronicorum, gasa electronica fluorinum continentia circiter 30% totius numeri constituunt. Gasa electronica fluorinum continentia pars magni momenti gasorum electronicorum specialium in campo materiarum electronicarum informationis sunt. Praecipue ut agentes purgantes et agentes corrosivos adhibentur, et etiam ut dopantes, materiae pelliculae formantes, et cetera adhiberi possunt. In hoc articulo, auctor te ad intellegendum gasa fluorinum continentia communia ducet.

Haec sunt gasa fluorinum continentia vulgo adhibita:

Trifluoridum nitrogenii (NF3): Gas ad purgandas et removendas depositas adhibitum, plerumque ad cameras reactionis et superficies apparatuum purgandas adhibetur.

Hexafluoridum sulfuris (SF6)Agens fluorinans in processibus depositionis oxidi et ut gas insulans ad implenda media insulantia adhibitum.

Hydrogenii fluoridum (HF): Ad removenda oxida e superficie silicii et ut abrasivum ad silicium aliasque materias corrosionem adhibetur.

Nitrogenii fluoridum (NF): Ad corrosionem materiarum ut nitridum silicii (SiN) et nitridum aluminii (AlN) adhibetur.

Trifluoromethanum (CHF3) ettetrafluoromethanum (CF4)Adhibetur ad materias fluoridas, ut silicii fluoridum et aluminii fluoridum, corrosandas.

Attamen gasa fluorinum continentia pericula quaedam habent, inter quae toxicitas, corrosivitas, et flammabilitas.

Toxicitas

Quaedam gasa fluorinum continentia toxica sunt, ut hydrogenii fluoridum (HF), cuius vapor cutem et vias respiratorias valde irritat et saluti humanae nocet.

Corrosivitas

Hydrogenii fluoridum et nonnulla fluorida valde corrosiva sunt et grave damnum cuti, oculis et viae respiratoriae inferre possunt.

Inflammabilitas

Quaedam fluorida inflammabilia sunt et cum oxygenio vel aqua in aere reagunt, calorem intensum et gases toxicos emittunt, quae ignem vel explosionem causare possunt.

Periculum altae pressionis

Quaedam gasa fluorinata sub pressione alta explosiva sunt et curam specialem requirunt cum adhibentur et servantur.

Impactus in ambitum

Gases fluorinum continentes longas vitae atmosphaericas et valores GWP habent, quae effectum destructivum in stratum ozoni atmosphaerici habent et calefactionem globalem et pollutionem ambientalem efficere possunt.

Usus gasorum in campis emergentibus, ut in rebus electronicis, pergit profundius crescere, magnum novum desiderium gasorum industrialium afferens. Ob magnam capacitatem productionis novae partium electronicarum maiorum, ut semiconductorum et tabularum ostentationis, in Sinis continentalibus proximis annis, necnon propter validam postulationem substitutionis importationis materiarum chemicarum electronicarum, industria domestica gasorum electronicorum magnum incrementum inducet.